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半導体・液晶業界向けの特殊空調
半導体・液晶業界向けアプリケーション例

半導体・液晶 業界

製造過程に必要な装置に組み込む空調ユニットやチラーのご紹介


装置用精密空調ユニット 装置用チラー 生産ライン用

年々精密化が進み、生産ラインの難易度が増している半導体・液晶分野。
ご使用の目的やご事情によって温調の手法は様々です。

生産工場に導入される生産装置の多くが、求めるワークの微細化や装置位置決めにはじまる精度要求と、半導体の技術革新や、液晶・プリント基板の品質向上にあわせて難易度を増します。
お客様や設置レイアウトの事情で異なる周囲環境は、装置に影響を及ぼし、膨張・収縮・たわみなどの要因となります。また、クリーンルームのシビアな温度管理は、多大な投資・運営コストを必要とし、気流や熱負荷を考慮したさまざまな難しい課題をクリアしなければなりません。

製造の精密化・高度化の要求におこたえする温調環境をつくります

アメフレックの大型チャンバーや局所温調ユニットは、必要な空間に温調エリアを限定させ、少ないエネルギーと導入コストで、お客様にご満足いただける環境にやさしいエンジニアリングをご提案いたします。

生産工場のグローバル化でコストのかさむチャンバー立上げ作業は、当社スーパーバイザーの現場管理による、現地スタッフを用いた安心・ローコストの請負作業で責任を持って対応させて頂きます。

アメフレック 製造本部では、装置やラインの使用状況や稼動にあわせて適応した機器を設計・選定し、現場の方々のお声をお聞きしながら、よりベターなラインづくりのお手伝いをさせていただきます。
製品製造の効率化とともに、環境に配慮した省エネルギー・省コスト化にも常に挑戦しています。
どうぞ貴社のご希望・ご要望をお聞かせください。


装置用精密空調ユニット
半導体・液晶業界
  1. 第8世代などの液晶大型チャンバー 大型チャンバーの気流解析で、効率よい気流コントロールを
    エンジニアリングいたします。
    温度管理エリアと清浄度管理エリアをそれぞれ個別に設計し、
    省エネルギー・省コストのご提案をいたします。

  2. 第4〜5世代の液晶小型チャンバー スマートフォンやタブレット用タッチパネル向けチャンバーに対し、
    当社標準空調ユニットをご提案。チャンバーのパネル化などと合わせ、
    コスト改善や省エネルギー、輸送・現地作業の負荷軽減のサポートをいたします。

  3. インクジェット装置・コーターデベロッパーなどの装置用空調ユニット 含水率の影響が大きい素材やフィルムなどのワークは、湿度制御が不可欠です。
    当社標準空調ユニットやカスタムユニットで温湿度管理を効果的に行います。
    空調・チラーの一体化によるフットプリントや導入コスト軽減もご提案いたします。

アプリケーション例
 

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装置用チラー
  1. 競争力あるカスタムチラー ・−40℃〜150℃対応
    ・多チャンネル個別制御仕様
    ・液調空調一体化
    ・ガルデン他各種媒体仕様
    ・CEほか各種安全仕様

  2. 装置に対応する柔軟なご提案 装置側のさまざまな条件や優先順位に合わせて、柔軟に機器のご提案をさせていただきます。

アプリケーション例

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生産ライン用
半導体・液晶業界
  1. 優れたエアーコントロール技術 解析ソフトにより、ワークの温度分布まで考慮した気流で、
    ユーザー様がお求めになる「真」の温調を達成します。
    使用条件などご希望を是非ご相談ください。

アプリケーション例

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